氢钝化对晶体硅太阳能电池缺陷调控的物理机制与先进工艺 1 引言 几乎所有硅太阳能电池都采用了氢钝化技术。氢原子能够有效钝化晶界、悬挂键、硼氧复合体等多种缺陷,显著提升少数载流子寿命和电池转换效率。然而,硅中氢的行为极为复杂——它以多种电荷态存在,扩散率数据在文献中差异高达五个数量级,且其钝化效果强烈